Pat
J-GLOBAL ID：200903015347586890
プローバ用コンタクタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
金本 哲男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993113690
Publication number (International publication number)：1994300783
Application date： Apr. 16, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 プローブテストを行う場合、周囲環境にノイズがあってもその影響を受けずに正確、かつ安定した測定が可能なプローブ用コンタクタを提供する。【構成】 信号電流が流れる線材30aの外周に、第1の絶縁膜30bを介して導電膜30cを被覆させ、さらにこの導電膜30cの外周に第2の絶縁膜30dを被覆する。導電膜30cは接地する。【効果】 信号電流が流れる線材は導電膜によってシールドされるので、ノイズの影響も受けず、信号電流相互間のクロストークも防止される。しかも第2の絶縁膜によって他のプローブ針との相互接触による影響もないので、正確、かつ安定した測定が可能である。
Claim (excerpt)：
半導体素子のテストを行うプローバに使用され、当該半導体素子の被接触部に接触させて電気的接続を行うための導電性を有するコンタクタにおいて、導電性を有するコンタクタ本体外周に少なくともその接触部を除いて第1の絶縁膜を設け、さらに当該第1の絶縁膜の外周に導電膜を設け、またさらに当該導電膜の外周に第2の絶縁膜を設け、前記導電膜は接地したことを特徴とする、プローバ用コンタクタ。
IPC (3)：
G01R 1/073
, G01R 1/067
, H01L 21/66
