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J-GLOBAL ID：200903015357042294

磁区観察用近接場走査型顕微鏡

Inventor： 大沢 日佐雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991053813
Publication number (International publication number)：1993180756
Application date： Feb. 26, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】[目的] 試料に照射した直線偏光の光の偏光面が試料の磁化に応じて回転することを利用し高分解能の磁区観察用近接場走査型顕微鏡を実現する。[構成] 試料裏面からあるいは表面から直線偏光の光を照射し、この光の試料を通る透過光または試料による反射光を偏光依存ピックアップ手段により検出する。偏光依存ピックアップ手段は検出された光の偏光方向の回転角に応じてその出力が変化するから、この出力は試料の磁化に対応したものとなる。従って、このような偏光依存ピックアップにより試料表面を走査することにより、試料の磁区観察が可能となる。また、偏光依存ピックアップ手段と試料とを相対的に回転して最大出力の点を求めることにより磁化の方向を検出することもできる。

Claim (excerpt)：

試料裏面から直線偏光の光を照射する光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ試料表面におけるエバネセント波の偏光の回転角の変化を検出する偏光依存ピックアップ手段とを具備することを特徴とする磁区観察用近接場走査型顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 21/21 ,  G02B 21/00