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J-GLOBAL ID：200903015372321663

化学蒸着法で有用なタンタルならびにニオブ試薬とそれを使用する蒸着コーティングの方法

Inventor： キールリン.ピーター.エス ,  バールトストラ.ブライアン.エー ,  ゴルドン.ダグラス ,  グラスマン.ティモシー.イー
Applicant, Patent owner： アドバンスド.テクノロジー.マテリアルズ.インコーポレイテッド
Agent (1)： 押田 良久
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996510321
Publication number (International publication number)：1999508534
Application date： Sep. 14, 1995
Publication date： Jul. 27, 1999
Summary：

【要約】化学蒸着法原料試薬としての使用に適するニオブならびにタンタルの化合物と、前記化合物を用いてニオブもしくはタンタル含有コーティングを蒸着する方法に関する。前記化合物は次式を有す:[式中、Xが1乃至4であり;Mはタンタルもしくはニオブ;Gは酸素もしくは硫黄;そしてR1、R2およびR3は個々にヒドロカルビル、フルオロアルキル、もしくはアルコキシ基である]。

Claim (excerpt)：

次式の化合物である: M(OR1)x (R2-C(G)-CH-C(G)-R3)5-x [式中、xが1乃至4であり; Mがタンタルもしくはニオブであり; Gが酸素もしくは硫黄であり; R1がC1-C6のヒドロカルビルもしくはフルオロアルキルであり; かつ、 R2とR3が個々にC2-C6のヒドロカルビル、C2-C6のフルオロアルキル、もしくはC1-C6のアルコキシ基から、-R2とR3が同時にメチルまたはフェニルの両者でないことを条件に、かつR2とR3のいずれか片方がメチルである時、他方がフェニルでないことをさらに条件として選ばれる]ことを特徴とする化合物。

IPC (2)：

C07F 9/00 ,  C23C 16/40

FI (2)：

C07F 9/00 Z ,  C23C 16/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-140880
  
• 特開昭59-168678