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J-GLOBAL ID：200903015414129571

液晶表示素子用ガラス基板の加工方法

Inventor： 滝澤 律夫
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 鈴木 晴敏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992184407
Publication number (International publication number)：1994003656
Application date： Jun. 18, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 液晶表示素子用ガラス基板の表面不純物濃度を低減し且つ表面平坦度を向上させる。【構成】 工程S1で表面研磨処理を施した後、工程S2で通常の基板洗浄を行なう。続いて、工程S3で表面エッチング処理を行ない研磨粒子残渣等を除去する。工程S4でSiO2 膜を被覆し基板表面に残された凹凸やスクラッチを埋めるとともに、工程S5で熱処理を行ない平滑化を促進する。

Claim (excerpt)：

研磨処理及びエッチング処理が施されたガラス基板に対してそのガラス表面を平坦にする様にSiO2 膜を形成する事を特徴とする液晶表示素子用ガラス基板の加工方法。