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J-GLOBAL ID：200903015427816985

露光用マスク、マスク収納容器、及び露光用マスク識別装置

Inventor： 小嶋 邦博
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993186438
Publication number (International publication number)：1995043893
Application date： Jul. 28, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】半導体製造などに使用される露光用マスク、露光用マスク収納容器、及び露光用マスク、またはマスク収納容器の識別装置に関する。層状に配列されたマスク、またはマスク収納容器の識別処理を、識別動作が早く、しかも簡単な機構で実現する。【構成】半導体製造、表示体製造等に使用される露光用マスク、またはマスク収納容器おいて、マスク、またはマスク収納容器の側面部4に、露光パターン面と垂直方向にコード5が配列された標識を付ける。また、前記マスク、またはマスク収納容器が層状に配置されるマスク、またはマスク収納容器の収納部が有り、マスクのパターン面と相対的に垂直方向に標識識別機構を走査させる機構を有することを特徴とするマスク、またはマスク収納容器の識別装置。

Claim (excerpt)：

半導体製造、表示体製造等に使用される露光用マスク、または露光用マスク収納容器において、マスク、またはマスク収納容器の側面部に、露光パターン面と垂直方向にコードが配列された標識を付けたことを特徴とする露光用マスク、またはマスク収納容器。

IPC (3)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 502 J