Pat
J-GLOBAL ID：200903015439911002
微小構造体、およびその製造方法および装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997114071
Publication number (International publication number)：1998305488
Application date： May. 01, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：
【要約】【課題】 形状精度が高く、特に、積層方向の高解像度化が可能で、直接金属あるいはセラミックス等の絶縁体で造形でき、さらに、複数の構造体要素が組み立てられた状態で一括して造形することが可能な微小構造体、およびその製造方法および装置を提供する。【解決手段】 微小構造体を構成する複数の断面形状をそれぞれ有する複数の薄膜が形成された基板400を基板ホルダ301に載置し、基板ホルダ301を上昇させて基板400上に形成された薄膜をステージ302の表面に接合させ、基板ホルダ301を下降させると、薄膜が基板400から剥離してステージ302側に転写される。この転写を繰り返すことにより、ステージ302上に複数の薄膜が積層され、微小構造体が形成される。
Claim (excerpt)：
所定の2次元パターンに形成された複数の薄膜が接合した状態で積層されてなる微小構造体。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
