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J-GLOBAL ID：200903015454880750
基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
中本 菊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992241239
Publication number (International publication number)：1994069315
Application date： Aug. 18, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 装置全体を小型にし、かつスループットの向上及びパーティクルの基板への付着を防止できるようにした基板搬送装置を提供する。【構成】 モータや回転軸等を内蔵する駆動手段10の上部に、水平方向に回転可能な回転基板11を配設し、この回転基板11上の対向位置に2つの伸縮アーム20及びピンセット30を取付ける。各伸縮アーム20を、基端部が回転基板11に回転可能に取付けられる第1のアーム21と、基端部が第1のアーム21の先端部に回転可能に連結される第2のアーム22とで構成し、第2のアーム22の先端にピンセット30を回転可能に連結する。両ピンセット30の上面を異なる高さに設定すると共に、ピンセット30上に載置保持される基板A同士が互いに干渉しないように隙間sを介して基板Aの少なくとも一部を重複可能に形成する。
Claim (excerpt)：
基板を保持する基板保持部と、この基板保持部を水平方向に移動する移動機構と、この移動機構を水平方向に回転する回転機構と、上記移動機構及び回転機構の駆動手段とを具備する基板搬送装置において、上記回転機構上に複数の移動機構と基板保持部とを具備し、上記基板保持部上に保持される基板の少なくとも一部を隙間を介して重複可能に形成してなることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, G02F 1/13 101
, H01L 21/302
