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J-GLOBAL ID：200903015461558243

気体清浄化用ケミカルフィルター

Inventor： 藤原 護朗 ,  益田 光信 ,  入江 直樹
Applicant, Patent owner： 株式会社タクマ
Agent (1)： 中尾 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994320252
Publication number (International publication number)：1996173725
Application date： Dec. 22, 1994
Publication date： Jul. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】超高純度空間を形成するためのイオン交換繊維体および活性炭素からなるフィルター。【構成】陽イオン交換繊維および/または陰イオン交換繊維と、繊維状活性炭とを混合して構成する。繊維状活性炭の含有量は、陽イオン交換繊維に対し5〜30重量%が好ましい。また、フィルターの下流側に気体透過膜をラミネートしてフィルターからの発じんを抑止することができる。半導体産業や医療用などに用いられるクリーンルームやクリーンベンチなどの高度清浄空間を形成するのに効果的である。

Claim (excerpt)：

気体を清浄化するためのフィルターであって、陽イオン交換繊維および/または陰イオン交換繊維と、繊維状活性炭とが混合して構成されていることを特徴とする気体清浄化用ケミカルフィルター。

IPC (5)：

B01D 39/14 ZAB ,  B01D 53/22 ZAB ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/81 ZAB ,  B01D 69/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• クリーンルーム内の微量汚染空気の浄化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-294501   Applicant：日本原子力研究所, 株式会社荏原製作所