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J-GLOBAL ID：200903015471779744

光伝送装置用部品

Inventor： 山本 直樹 ,  寺田 浩二
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 林 恒徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995211824
Publication number (International publication number)：1997061664
Application date： Aug. 21, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】製作時間の短縮、生産性の向上を図った、光導波路上に光学部品を固定した光伝送装置用部品を提供する。【解決手段】一の面に形成された光導波路と該光導波路と垂直方向に形成された溝を有するSi基板と、異方性エッチングにより形成され、高アスペクト比の溝が形成されたSiのフタ部と、Si基板の溝と高アスペクト比の溝に挿入された薄板状の光学部品を有し、Si基板とフタ部とが一体に実装されて構成される。

Claim (excerpt)：

一の面に形成された光導波路と該光導波路と垂直方向に形成された溝を有するSi基板と、異方性エッチングにより形成され、高アスペクト比の溝が形成されたSiのフタ部と、該Si基板の溝と該高アスペクト比の溝に挿入された薄板状の光学部品を有し、該Si基板とフタ部とが一体に実装されて構成される光伝送装置用部品。

IPC (2)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/26

FI (2)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/26