Pat
J-GLOBAL ID：200903015501062475
アルミニウムを主成分とする金属薄膜のエッチング液組成物
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992274004
Publication number (International publication number)：1994122982
Application date： Oct. 13, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、多層配線を持つ半導体装置のアルミニウムを主成分とする下層配線にテーパーをつけることにより、上層配線の断線や上層配線との短絡を防止するエッチング液組成物を提供することを目的とする。【構成】 燐酸、硝酸、酢酸および水の混合物で構成され、上記混合物の容量比が燐酸16、硝酸4〜7、酢酸4および水0〜3であるエッチング液組成物で構成される。
Claim (excerpt)：
燐酸、硝酸、酢酸および水の混合物で構成されることを特徴とするアルミニウムを主成分とする金属薄膜のエッチング液組成物。
IPC (3)：
C23F 1/20
, H01L 21/308
, H01L 21/3205
Cited by examiner (5)
Show all
Return to Previous Page
