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J-GLOBAL ID：200903015530706527

雰囲気中金属不純物の捕集方法及びその捕集装置

Inventor： 向 俊男 ,  高須賀 正己
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 大西 孝治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992315760
Publication number (International publication number)：1994148041
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 微量の金属不純物を捕集することができ、しかも排気による雰囲気の汚染を防止することができるようにする。【構成】 金属不純物を含む雰囲気Aを酸蒸気と接触させて金属不純物を酸蒸気に溶解させる酸蒸気接触槽100 と、この酸蒸気接触槽100 と連通し、金属不純物が溶解した酸蒸気を純水PW中でバブリングさせて濃縮させる2つの第1及び第2のバブリング槽200a、200bと、雰囲気Aを酸蒸気接触槽100 に吸引する吸引ポンプ300 と、この吸引ポンプ300 の排気を純水PW中でバブリングさせる洗浄槽400 を有している。

Claim (excerpt)：

金属不純物を含む雰囲気を酸蒸気と接触させて前記金属不純物を酸蒸気に溶解させる工程と、その後に前記酸蒸気を純水にバブリングして濃縮させる工程とを具備したことを特徴とする雰囲気中金属不純物の捕集方法。