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J-GLOBAL ID：200903015569353249

原子間力顕微鏡を用いた加工装置及び加工方法

Inventor： 高岡 修
Applicant, Patent owner： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006276429
Publication number (International publication number)：2008096578
Application date： Oct. 10, 2006
Publication date： Apr. 24, 2008
Summary：

【課題】 原子間力顕微鏡による機械的な除去加工で加工用の探針の寿命を延ばし、加工中の探針位置のドリフトの低減を実現する。【解決手段】 カンチレバー3を貫通している加工用の探針1の背面温度を背面1aに接着固定した微小な熱電対2でモニターし、所定温度を超えたときには加工を中断する。測定した探針1の温度から探針1の温度上昇によるカンチレバー3の熱膨張に起因する探針位置のドリフト量を予測し加工位置を補正する。また、探針1の背面に接着固定した微小な熱電対2でモニターしながら、背面1aのヒーター加熱や冷却により探針1の温度を一定の範囲内に収めて加工する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

自己検知式カンチレバーと、前記自己検知式カンチレバーの端部に設けられ背面が露出した探針と、前記自己検知式カンチレバーを固定し前記自己検知式カンチレバーを介して前記探針をXYZ方向に移動させるXYZスキャナーと、前記探針背面に固定され前記探針背面温度を検出する熱電対を有する原子間力顕微鏡を用いた加工装置。

IPC (5)：

G03F 1/08 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  B82B 3/00 ,  B81C 5/00

FI (5)：

G03F1/08 V ,  G01N13/10 F ,  G01N13/16 A ,  B82B3/00 ,  B81C5/00

F-Term (2)：

2H095BD32 ,  2H095BD40