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J-GLOBAL ID：200903015591468424

接続識別装置

Inventor： 伊三木 一皇
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 平木 祐輔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997335997
Publication number (International publication number)：1999176723
Application date： Dec. 05, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ケーブル11とコネクタ13の接続における誤配線や接続漏れを自動的に判別する。【解決手段】 露光装置32の各駆動回路3、4、5、6に識別信号送信回路15を設けて、識別信号線16を介して識別信号を送出する。また、主制御装置33側では、機器コネクタ13と各制御基板7、8、9、10との間に配線切換え回路17を設置する。前記識別信号送信回路15からの識別信号は、機器コネクタ13の1番ピンから識別信号線20により配線切換え回路17を介してCPUボード18へ伝達される。これによって得られる識別信号を基に、CPUボード18は露光装置32の各駆動回路3、4、5、6と主制御装置33の機器コネクタ13との接続を識別して、各制御基板7、8、9、10と機器コネクタ13間の対応を決定し、配線制御信号線19からの配線制御信号により、機器信号が本来伝達されるべき各制御基板7、8、9、10に与えられるよう配線を切換え、必要な結線状態が得られるようにする。

Claim (excerpt)：

第1のコネクタを有し、該第1のコネクタ特有の識別信号を送出する第1の装置と、前記第1のコネクタと接続可能な第2のコネクタを有し、前記識別信号に応じて前記第1の装置との接続を識別する第2の装置と、を有することを特徴とする接続識別装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01R 13/64

FI (4)：

H01L 21/30 516 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01R 13/64 ,  H01L 21/30 502 G