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J-GLOBAL ID：200903015595641260

XYステージ装置及びその製造方法

Inventor： 森田 将司 ,  塩崎 明
Applicant, Patent owner： 神鋼電機株式会社
Agent (2)： 梶 良之 ,  須原 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005258151
Publication number (International publication number)：2007073688
Application date： Sep. 06, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：

【課題】 例えばフラットディスプレイパネル基板等の各種基板の製造又は検査工程に用いられるXYステージ装置において、パネル基板の大型化に対応できる、製造コスト及び運送コストの低いXYステージ装置を提供する。【解決手段】 XYステージ装置1は、平坦な平面を有するベース板2と、前記平面に沿って移動可能なXY移動機構3と、を少なくとも備える。そして前記ベース板2は、幅方向に2分割した分割体11・12を接合して構成されている。このXYステージ装置1は、分割体11・12の状態で製造され、分割体11・12の状態で納入先の工場24へ搬送された後、当該納入先の工場24で接合され、更にXY移動機構3を取り付けることで製造される。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたXY移動機構と、を少なくとも備えるXYステージ装置において、 前記ベース板は、少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を接合して構成されていることを特徴とする、XYステージ装置。

IPC (1)：

H01L 21/68

FI (1)：

H01L21/68 K

F-Term (9)：

5F031CA05 ,  5F031HA03 ,  5F031HA53 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA33 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16 ,  5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開昭64-81246号公報(第5図、ベース12、ガイド棒1,2、移動テーブル11)