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J-GLOBAL ID:200903015613075570
透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997088929
Publication number (International publication number):1998269978
Application date: Mar. 24, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】材料分野における微小領域の構造評価に使用される透過電子顕微鏡の薄膜試料の作製において、試料を補強して、試料の割れ、破壊を防ぐことにより、薄膜試料の作製を容易にし、薄膜試料の観察部位の強度を向上させ、取り扱いを容易にする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材、および該補強材を用いた薄膜試料の作製方法の提供。【解決手段】円環状のリング部の内側に複数の開孔を持つメッシュ部を有する透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材において、該複数の開孔に無機粒子を含む樹脂が充填されていることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材、および該補強材を用いた透過電子顕微鏡用試料作製方法。
Claim (excerpt):
円環状のリング部の内側に複数の開孔を持つメッシュ部を有する透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材において、該複数の開孔に無機粒子を含む樹脂が充填されていることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材。
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