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J-GLOBAL ID：200903015626355911

処理システムにおけるアラーム装置

Inventor： 西村 和浩 ,  濱田 哲也
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997152020
Publication number (International publication number)：1999003117
Application date： Jun. 10, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 アラーム情報を迅速に得るとともに、アラーム情報の仕様の更新を誤りなく行うことができる処理システムにおけるアラーム装置を提供する。【解決手段】 異常検知用のセンサS2 、S3 の検知信号はユニットコントローラ27に送られ、各センサに応じたアラームコードに変換される。アラームコードはメインコントローラ60に送られて、アラームコードに対応したアラーム情報が検索される。メインコントローラ60は、各アラームコードに対応付けて標準仕様または特殊仕様のアラーム情報を記憶し、その仕様に応じて各アラームコードを区別して記憶している。メインコントローラ60は、検索したアラーム情報をモニタ40などに出力する。各アラームコードに対応するアラーム情報の仕様は1つであるので、アラーム情報を迅速に特定でき、また、アラーム情報の更新を誤りなく行える。

Claim (excerpt)：

処理システムに発生した異常を検知し、その異常の状況や回復措置などのアラーム情報を出力する処理システムにおけるアラーム装置であって、処理システムに発生する各種の異常を検知するセンサ群と、前記センサ群からの検知信号を各センサに応じたアラームコードに変換する信号変換手段と、各アラームコードに対応付けて標準仕様または特殊仕様のいずれか一方のアラーム情報を記憶するとともに、各アラームコードに対応付けられたアラーム情報が標準仕様か特殊仕様かに応じて各アラームコードを区別して記憶する記憶手段と、前記信号変換手段から与えられたアラームコードに基づき前記記憶手段を検索して、前記アラームコードに対応するアラーム情報を読み出すアラーム情報検索手段と、前記読み出されたアラーム情報を出力するアラーム情報出力手段とを備えたことを特徴とする処理システムにおけるアラーム装置。

IPC (5)：

G05B 23/02 301 ,  G05B 23/02 ,  G08B 25/00 520 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (5)：

G05B 23/02 301 X ,  G05B 23/02 T ,  G08B 25/00 520 D ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A