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J-GLOBAL ID：200903015647133811

環境制御型走査型電子顕微鏡

Inventor： 松井 秀信
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997223231
Publication number (International publication number)：1999067133
Application date： Aug. 20, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 微量の水を高精度に制御して試料へ供給でき、長時間一定の湿度環境を保持できる、環境制御型走査型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料室内を一定温度に保持するための循環水配管の水をバイパス管2を通して取り入れ、ニードルバルブ3によって水量を制御し、細管4を通して試料付近に供給し、試料室内を所定の低真空雰囲気に保持する。

Claim (excerpt)：

電子線源から射出された電子線の通路を形成する真空室と、前記真空室に圧力制限開口を挟んで連結され、一定温度に保持されると共に水が供給されて低真空雰囲気に保持される試料室と、前記電子線を前記圧力制限開口を通して前記試料上に集束し走査する電子光学系と、試料から発生しガス増幅された2次電子を検出する2次電子検出器と、を有する環境制御型走査型電子顕微鏡において、前記試料室内を一定温度に保持するための循環水配管と、前記循環水配管中の水を分岐し前記試料室内に微量供給することによって前記試料室内を低真空雰囲気に保持するための微量注水装置と、を備えたことを特徴とする環境制御型走査型顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/301

FI (3)：

H01J 37/20 F ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/301