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J-GLOBAL ID：200903015670798251

測定装置

Inventor： 山▲崎▼ 達也
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992149469
Publication number (International publication number)：1993340865
Application date： Jun. 09, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 装置の大型化やコストの上昇を招くことなく、放射エネルギの指向性変動に拘らず正確な測定を行なうことができる測定装置を提供すること。【構成】 レーザ発光部1と、レーザ出力ミラー2を有する光源からのレーザビームを照射光学系(3、4)によってフローセル5内の照射領域6に照射される。フローセル5を流れる被検粒子によって発する散乱光や蛍光は検出器(7、8)で検出される。ここでレーザ光の指向性変動の支点であるレーザ出力ミラー2近傍と照射領域6とが光学的に略共役にされており、レーザ光の指向性が変動してもその影響を受けずに正確に測定が行なえるようになっている。

Claim (excerpt)：

エネルギ放射源と、該エネルギ放射源からの放射エネルギを披検物に照射する照射手段と、該披検物の特性を検知する検知手段とを有し、該照射手段は該放射エネルギの指向性変動の支点と該披検物が放射エネルギで照射される照射領域とを略共役にすることを特徴とする測定装置。