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J-GLOBAL ID：200903015712501106
光熱変位計測による試料評価方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992090817
Publication number (International publication number)：1993288721
Application date： Apr. 10, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 試料の温度変化,プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といった外乱の影響を受けず,真の熱膨張振動を計測できる光熱変位計測による試料評価装置。【構成】 He-Neレーザ1により試料3に照射される励起用兼測定用の放射光の試料3での反射光(ビーム1)と放射光(ビーム2)との干渉光を光電変換器4により検出する。この時,ビーム1とビーム2との間で周期差Fbを与えて検出データを周期差Fbに対応するビート波Eとなすと共に,ビーム1を周波数Fで強度変調した周期光となす。発振器10,位相シフタ9によりビート波Eと同位相の正弦波R0と,正弦波波R0と90°位相の異なる正弦波Rとを発生させる。乗算器7,12により正弦波R0,Rをそれぞれビート波Eに乗じた値の内,ロックインアンプ13,14により抽出された周波数F成分の比S1を除算器15により求める。この比S1に基づいて試料3の熱膨張振動を計測するような構成としている。上記構成により外乱の影響を受けずに,高精度で試料評価を行うことができる。
Claim (excerpt)：
試料に励起光を照射すると共に,上記試料に照射される測定用の放射光の該試料での反射光と該放射光との干渉光を検出し,上記干渉光の検出データに基づいて上記試料の熱膨張振動を計測する光熱変位計測による試料評価方法において,上記放射光と反射光との間で所定の周期差を与えて上記検出データを該周期差に対応するビート波となすと共に,上記励起光を所定周波数で強度変調した周期光となし,上記ビート波に対して所定の位相をなす正弦波と該正弦波に対して90°位相の異なる正弦波とを上記ビート波にそれぞれ乗じた値の上記所定周波数の成分の比に基づいて上記試料の熱膨張振動を計測することを特徴とする光熱変位計測による試料評価方法。
IPC (2)：
G01N 29/00 501
, G01N 25/16
