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J-GLOBAL ID：200903015721225278

マイクロマシンスイッチおよびその製造方法

Inventor： 丸本 恒久
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999119743
Publication number (International publication number)：2000311573
Application date： Apr. 27, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構造のマイクロマシンスイッチを提供する。【解決手段】 第1および第2の高周波信号線1b,1aと、第1の高周波信号線1bの端部に固定されるとともに第2の高周波信号線1aの上方まで延在するカンチレバー11と、第2の高周波信号線1aに形成された第1の絶縁手段15と、カンチレバー11と第2の高周波信号線1aとの対向領域に形成された第2の絶縁手段14と、第2の高周波信号線1aの端部と第1の絶縁手段15との間に接続されかつ制御信号を印加する第1の制御信号線2とを備える。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されかつ制御信号に基づいて動作するマイクロマシンスイッチにおいて、各々の端部が離間して配置された第1および第2の高周波信号線と、前記第1の高周波信号線の端部に固定されるとともに前記第2の高周波信号線の上方まで延在しかつ導電性部材を含むカンチレバーと、前記第1または第2の高周波信号線に形成された第1の絶縁手段と、前記カンチレバーと前記第2の高周波信号線との対向領域に形成された第2の絶縁手段と、前記第1の絶縁手段が形成された方の前記第1または第2の高周波信号線の端部と前記第1の絶縁手段との間に接続されかつ直流電圧のレベル変化からなる前記制御信号を印加する第1の制御信号線とを備えることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。

IPC (4)：

H01H 59/00 ,  B62D 57/00 ,  H01H 11/04 ,  H01P 1/12

FI (4)：

H01H 59/00 ,  H01H 11/04 G ,  H01P 1/12 ,  B62D 57/00 B

F-Term (3)：

5G023AA20 ,  5G023CA50 ,  5J012AA00