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J-GLOBAL ID：200903015727632355

表面観察用プローブ

Inventor： 式田 光宏 ,  佐藤 一雄 ,  田中 伸司 ,  小出 晃
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993003856
Publication number (International publication number)：1994213654
Application date： Jan. 13, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】原子間力顕微鏡用プローブにおいて、探針部の形状を任意に設定でき、かつ、探針先端部の曲率半径が数十nmであるプローブを提供する。【構成】不純物をドープすることにより、シリコン基板上に探針とカンチレバーの原型を形成する。【効果】不純物をドープする時、イオンの打ち込み方向及び加速電圧等を変えることで、探針の形状を任意に設定できる。

Claim (excerpt)：

探針と、前記探針と試料表面間に作用する力を変位に変換するカンチレバーとから構成される表面観察用プローブにおいて、前記探針と前記カンチレバーとが半導体基板上に一体で形成され、かつ、少なくとも前記表面観察用プローブを構成する材料の一部あるいは全部が、不純物を1019原子/cm3 以上ドープしたシリコンであることを特徴とする表面観察用プローブ。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  C23F 1/00