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J-GLOBAL ID：200903015738491800
膜材がパターン形成された固体装置及びパターン形成方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998268326
Publication number (International publication number)：2000098909
Application date： Sep. 22, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】例えば薄膜電極が基板表面にパターン形成された液晶表示装置にあって、ブラシスクラバ等による基板洗浄に伴う薄膜電極の損傷を防止する。【解決手段】ポリシリコン形TFT方式アクティブマトリックス液晶表示装置を構成するTFTアレイ側基板11の透明絶縁基板上にはITOにて形成される画素電極22がマトリックス状に設けられている。また、アレイ側基板11の透明絶縁基板上には、ブラシスクラバ等による基板洗浄の際に画素電極22が損傷すことを防止するために、画素電極22群の外周を囲むように同画素電極22より膜厚の薄いダミー膜5が設けられる。
Claim (excerpt)：
表面に適宜の膜材がパターン形成された状態でブラシ洗浄される固体装置において、当該装置の同一表面において前記膜材の外周を囲むようにパターン形成されたダミー膜を備えることを特徴とする膜材がパターン形成された固体装置。
IPC (4)：
G09F 9/00 303
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 330
G09F 9/00 303 A
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 330 A
