Pat
J-GLOBAL ID:200903015741630411
デバイス検査
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (4):
浅村 皓
, 浅村 肇
, 吉田 裕
, 岩本 行夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003366656
Publication number (International publication number):2004279405
Application date: Sep. 19, 2003
Publication date: Oct. 07, 2004
Summary:
【課題】従来の欠点を克服するデバイス検査方法を提供する。【解決手段】方法は、検査すべきデバイスに非対称マーカを設けることを含み、マーカの非対称性の形態は、検査すべきパラメータに依存し、さらに、マーカに光を配向することと、特定の波長または回折角度の回折光を検出することにより、マーカの位置の第1測定値を取得することと、異なる波長または回折角度の回折光を検出することにより、マーカの位置の第2測定値を取得することと、マーカの非対称性の程度を示すシフトを決定するため、第1、第2測定位置を比較することとを含む。【選択図】図1
Claim (excerpt):
デバイス検査の方法で、検査すべきデバイスに非対称マーカを設けることを含み、マーカの非対称性の形態は、検査すべきパラメータに依存し、さらにマーカに光を配向することと、特定の波長または回折角度の回折光の検出により、マーカの位置の第1測定値を取得することと、異なる波長または回折角度の回折光の検出により、マーカの位置の第2測定値を取得することと、マーカの非対称性の程度を示すシフトを決定するため、第1および第2測定位置を比較することとを含む方法。
IPC (2):
FI (3):
G01B11/00 G
, H01L21/30 502V
, H01L21/30 514E
F-Term (24):
2F065AA01
, 2F065AA07
, 2F065AA14
, 2F065AA20
, 2F065BB02
, 2F065CC20
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF48
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ18
, 2F065RR02
, 2F065RR07
, 2F065UU05
, 2F065UU08
, 5F046AA18
, 5F046BA03
, 5F046EA07
, 5F046EC05
Patent cited by the Patent:
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