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J-GLOBAL ID：200903015742920855

赤外用干渉フィルター

Inventor： 木原 信浩 ,  岡本 幹夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994035622
Publication number (International publication number)：1995244215
Application date： Mar. 07, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】耐久性に優れ、帯域がシフトしたり、帯域幅が変化したりしない赤外用干渉フィルターを提供する。【構成】Siとその酸化物であるSiO2 を多層膜の各層に材料として使用し、スペーサー層をSiによって形成する。

Claim (excerpt)：

複数の層からなる赤外用干渉フィルターにおいて、各層がSiとSiO2 の2種類の物質により構成されたことを特徴とする赤外用干渉フィルター。