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J-GLOBAL ID：200903015749925372

ドライアイススティックを使った表面洗浄方法

Inventor： 村上 文祥 ,  鶴岡 洋幸 ,  工藤 飛車
Applicant, Patent owner： テイサン株式会社 ,  株式会社荏原製作所
Agent (1)： 高橋 敏忠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992274301
Publication number (International publication number)：1994053199
Application date： Oct. 13, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 付着塗膜を効果的に除去する。【構成】 洗浄箇所の表面にドライアイススティックを接触させた状態で、前進、後進、往復動、回転など洗浄面に対し接触移動する。

Claim (excerpt)：

シリコン基板、磁気ディスク基板、光学部品、電着塗装用治具その他の機器、部品など洗浄しようとする品物の洗浄箇所の表面にドライアイススティックを接触させた状態で、このドライアイススティックを前進・後進・往復動・回転など洗浄面に対し接触移動させて表面を洗浄することを特徴とするドライアイススティックを使った表面洗浄方法。