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J-GLOBAL ID：200903015769129246
ウエハ支持装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991168294
Publication number (International publication number)：1993021308
Application date： Jul. 09, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 振動の影響を無視できる冷却水の流速でも、吸着ブロックに変位が生じることがなく、さらに、制御および構成が簡略化されたウエハ支持装置を実現すること。【構成】 ウエハを保持する吸着ブロック101と、該吸着ブロック101の温度調節を行うためのペルチェ素子104とを備えたウエハ支持装置において、前記吸着ブロック101と一方の面で接する前記ペルチェ素子104の他方の面にはヒートパイプ105が設けられている。
Claim (excerpt)：
ウエハを保持する吸着手段と、該吸着手段の温度調節を行うためのペルチェ素子とを備えたウエハ支持装置において、前記吸着手段と一方の面で接する前記ペルチェ素子の他方の面にはヒートパイプが設けられていることを特徴とするウエハ支持装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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