膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000007384
Publication number (International publication number)：2001200203
Application date： Jan. 17, 2000
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】溶液の長期保存安定性に優れ、かつ低吸湿性で低誘電率の塗膜が得られる膜形成用組成物を得る。【解決手段】 (A)(1)で表される化合物R1aSi(OR2)4-a ・・・・・(1)(R1はH,Fまたは1価の有機基、R2は1価の有機基、aは0〜2の整数。)および(2) で表される化合物R3b(R4O)3-bSi-(R7)d-Si(OR5)3-cR6c ・・・・・(2)(R3〜R6は、1価の有機基、bおよびcは0〜2、R7は酸素原子または-(CH2)n-で表される基、nは1〜6を、dは0または1。)から選ばれる少なくとも1種の化合物と(B)式(3)で表される化合物HO-(SiR8R9O)eH ・・・・・(3)(R8およびR9は、1価の有機基、eは2〜100の整数。)との加水分解物および縮合物のいずれかを含有する膜形成用組成物。

Claim (excerpt)：

(A)(A-1)下記一般式(1)で表される化合物R1aSi(OR2)4-a ・・・・・(1)(R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表す。)および(A-2)下記一般式(2) で表される化合物 R3b(R4O)3-bSi-(R7)d-Si(OR5)3-cR6c ・・・・・(2)(R3,R4,R5およびR6は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7は酸素原子または-(CH2)n-で表される基を示し、nは1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物と(B)下記一般式(3)で表される化合物HO-(SiR8R9O)eH ・・・・・(3)(R8およびR9は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、eは2〜100の整数を示す。)との加水分解物および縮合物もしくはいずれか一方を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (10)：

C09D183/02 , C08K 5/07 , C08K 5/56 , C08L 83/02 , C08L 83/14 , C09D183/06 , C09D183/08 , C09D183/14 , H01B 3/46 , H01L 21/312

FI (10)：

C09D183/02 , C08K 5/07 , C08K 5/56 , C08L 83/02 , C08L 83/14 , C09D183/06 , C09D183/08 , C09D183/14 , H01B 3/46 E , H01L 21/312 C

F-Term (70)：

4J002BG042 , 4J002BG132 , 4J002CH022 , 4J002CH052 , 4J002CP031 , 4J002CP032 , 4J002CP191 , 4J002DD016 , 4J002DE056 , 4J002DE086 , 4J002DF006 , 4J002DF036 , 4J002DG036 , 4J002DH026 , 4J002EB067 , 4J002EC076 , 4J002EE046 , 4J002EE047 , 4J002EF036 , 4J002EF066 , 4J002EF086 , 4J002EN026 , 4J002EN106 , 4J002EU026 , 4J002EU046 , 4J002EU076 , 4J002EU136 , 4J002EV287 , 4J002EW047 , 4J002GQ01 , 4J038DL021 , 4J038DL052 , 4J038DL071 , 4J038DL161 , 4J038JA34 , 4J038JC38 , 4J038KA04 , 4J038KA09 , 4J038LA02 , 4J038NA07 , 4J038NA11 , 4J038NA12 , 4J038NA21 , 4J038NA26 , 5F058AA03 , 5F058AA04 , 5F058AC03 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH02 , 5F058BA06 , 5F058BA07 , 5F058BA20 , 5F058BC05 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ01 , 5F058BJ02 , 5G305AA07 , 5G305AA11 , 5G305AB10 , 5G305AB26 , 5G305AB36 , 5G305BA09 , 5G305CA26 , 5G305CB27 , 5G305CD07 , 5G305CD12 , 5G305CD18

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