外観検査装置およびその検査方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994235738
Publication number (International publication number)：1996101138
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、検査対象物の外観の良否を検査する外観検査装置およびその検査方法において、外観の欠陥の大きさを高い精度で検出できるようにすることを最も主要な特徴とする。【構成】たとえば、検査対象物より読み取った画像データPaを第1の基準化部12で規準化し、規準化データP ́を生成する。また、良否判定の基準となる基準データRaを第2の読取部13および第2の基準化部14によって基準化し、規準化データR ́を得る。そして、それぞれの基準化データP ́,R ́をもとに、算出部15によって濃度データEを算出する。この後、検出部16において、上記濃度データEより欠陥画像の大きさを算出し、あらかじめ設定された閾値と比較することにより、外観の良否を判定する構成となっている。

Claim (excerpt)：

検査対象物より画像データを読み取る読取手段と、この読取手段で読み取った前記画像データを基準化する基準化手段と、この基準化手段で基準化された前記画像データとあらかじめ用意されている基準データとから、前記検査対象物の外観不良を検出する検出手段とを具備したことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (2)：

G06F 15/62 405 Z , G06F 15/70 455 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平3-010107
特開昭57-166675
特開昭63-019543

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