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J-GLOBAL ID：200903015795639430

距離測定方法および装置

Inventor： 横山 敦 ,  芦ヶ原 隆之
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 稲本 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072926
Publication number (International publication number)：1994258042
Application date： Mar. 08, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 測定対象物体の表面の位置を高精度且つ高速に測定する。【構成】 基準平面を位置S0、S1およびS2に配置したときに基準平面から反射したスリット光が撮像面7のセルPijに入射するための走査ミラー3の角度差θ1およびθ2を示すカウント値C1およびC2を求め、基準面を位置S2に配置したときに基準平面から反射したスリット光が撮像面7のセルPijに入射するための走査ミラー3の角度θS2と、測定対象物体を配置したときに測定対象物体の面から反射されたスリット光が撮像面7のセルPijに入射するための走査ミラー3の角度θSXとの角度差を示すカウント値Cxを求め、所定の演算を行って、測定対象物体と位置とS0との距離を求める。

Claim (excerpt)：

走査ミラーを回転させることによりスリット光を測定対象物体の表面に沿って走査し、前記測定対象物体からの反射スリット光が、撮像面を構成するセルを通過する時点を検出して前記測定対象物体の表面の位置を測定する距離測定方法において、基準平面を第1位置に配置したときに前記基準平面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第1角度と、前記基準平面を前記第1位置から所定距離だけ離隔した第2位置に配置したときに前記基準平面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第2角度との差である第1角度差を示す値を求め、前記基準平面を第2位置に配置したときに前記基準平面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第2角度と、前記基準平面を前記第2位置から前記所定距離と同一距離だけ離隔した第3位置に配置したときに前記基準平面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第3角度との差である第2角度差を示す値を求め、前記基準平面を第3位置に配置したときに前記基準平面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第3角度と、前記測定対象物体を配置したときに前記測定対象物体の面から反射したスリット光が前記撮像面の所定のセルに入射するための前記走査ミラーの第4角度との差である第3角度差を示す値を求め、前記第1角度差を示す値、前記第2角度差を示す値および前記第3角度差を示す値を使用して、前記測定対象物体と前記第1位置との距離を求めることを特徴とする距離測定方法。

IPC (5)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/70 350