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J-GLOBAL ID：200903015811299670

ゲッタポンプモジュール及びシステム

Inventor： クルーガー, ゴードン, ピー. ,  ロリマー, ダーシィ, エイチ. ,  カレラ, セルジオ ,  コンテ, アンドレア
Applicant, Patent owner： セイス ピュア ガス インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996519076
Publication number (International publication number)：1998510024
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】ゲッタポンプモジュールは軸穴を備えた多数のゲッタディスクと、穴を通って延び、このゲッタディスクを支持、加熱する加熱要素とを有している。ゲッタディスクは、加熱要素に係合するチタンボスを備えた固形で、多孔性で、焼結されたディスクであることが好ましい。断熱シールドが設けられ、チャンバ内の熱源と加熱シンクからゲッタディスクを遮蔽し、ゲッタディスクの迅速な再生を助長する。本発明のある実施形態においては、熱シールドは固定式のものであり、別の実施形態では、熱シールドは移動可能である。一実施形態においては、フォーカスシールドが設けられ、熱エネルギーを外部のヒータ要素からゲッタ材料に反射させ、ポンプ速度を速くする。本発明のある実施形態はまた、回転ゲッタ要素を設け、ゲッタ材料利用性を向上させる。

Claim (excerpt)：

a)多孔性で焼結されたゲッタ材料からなる複数の固形ゲッタ要素であって、それぞれを通って延びる開口を有した複数の固形ゲッタ要素と、 b)前記開口を通って延びる、前記ゲッタ要素を支持するための支持要素と、を備えるゲッタポンプ。