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J-GLOBAL ID：200903015816543340
力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996011109
Publication number (International publication number)：1997203746
Application date： Jan. 25, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：
【要約】【課題】重錘体の動きを確実に制限できる力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法を提供する。【解決手段】作用部14、作用部14の周囲に形成された可撓部13、及び、可撓部13の周囲に形成された固定部15を有する検出体と、第2基板部22及び第3基板部32から成る重錘体と、第2基板部21及び第3基板部31から成る支持体とを備える。第2基板部21及び第2基板部22は、第2基板20から切り出される。第3基板部31及び第3基板部32は、第2基板20よりも切削抵抗が小さい第3基板30から切り出される。重錘体の第3基板部32には、支持体の第2基板部21の下方側に張り出した突縁32aが形成されている。
Claim (excerpt)：
作用部と、該作用部の周囲に形成された可撓部と、該可撓部の周囲に形成された固定部を有する検出体と、前記作用部の下面に接合された重錘体と、前記重錘体を隙間をあけて囲む、前記固定部の下面に接合された支持体とを備え、前記可撓部には、該可撓部の撓み量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部が形成され、前記重錘体及び前記支持体のそれぞれが、前記検出体側に位置する第1の層と、該第1の層の下面に接合された、該第1の層よりも切削抵抗が小さい第2の層を含んで構成された力学量センサにおいて、前記重錘体の第2の層には、前記支持体の第1の層の下方側に張り出した突縁が形成され、前記突縁の上面周縁部と、前記支持体の第1の層の下面との間には、第1のストッパーギャップが形成され、前記突縁の側面と、前記支持体の第2の層の内側側面との間には、前記重錘体の第1の層の側面と、前記支持体の第1の層の内側側面との間隔よりも小さい間隔の第2のストッパーギャップが形成されていることを特徴とする力学量センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
