Pat
J-GLOBAL ID：200903015818371252
プローブカード
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 利之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997256186
Publication number (International publication number)：1999087440
Application date： Sep. 05, 1997
Publication date： Mar. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 同一のプローブ針支持体に設けた2列のプローブ針群を、ICチップの境界線を挟んだ2列の電極群に同時に接触させることで、隣り合うICチップを同時に検査可能にする。また、プローブ針に直接フラットケーブルを接続して、このフラットケーブルを中継基板を介してテスターに接続することで、プローブカードの基板への配線パターン形成を不要にする。【解決手段】 両側のプローブ針支持体46a、46eは1列だけのプローブ針群を備えており、中央の3個のプローブ針支持体46b〜46dは第1列のプローブ針群52aと第2列のプローブ針群52bとを備えている。第1列のプローブ針群52aはICチップの第1列の電極群58aに接触し、第2列のプローブ針群52bは隣りのICチップの第2列の電極群58bに接触する。プローブ針群52a、52bはフラットケーブル62によって中継基板66の第1コネクタ68に接続されている。
Claim (excerpt)：
次の(ア)(イ)の特徴を備える検査対象を検査するためのプローブカードであって、(ウ)〜(カ)の特徴を備えるプローブカード。(ア)ウェーハ上に多数のICチップが同一パターンで形成されていて、各ICチップは第1列の電極群と第2列の電極群とを備えている。(イ)第1列の電極群と第2列の電極群はICチップの1対の対向する辺に沿って互いに平行に並んでいる。(ウ)少なくとも3個のプローブ針支持体が基板に固定されている。(エ)前記プローブ針支持体は互いに平行に配列されており、その配列ピッチは、検査すべきICチップの配列ピッチと等しい。(オ)両端のプローブ針支持体は1列のプローブ針群を備えている。(カ)両端以外のプローブ針支持体は2列のプローブ針群を備えている。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/66 B
, G01R 1/073 E
