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J-GLOBAL ID：200903015831515379
レーザ装置およびレーザ装置の発振周波数制御方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998348714
Publication number (International publication number)：2000174371
Application date： Dec. 08, 1998
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：
【要約】【課題】 単一周波数発振をさせるレーザに於いて、シード光の周波数に対しレーザ発振器の共振器長が理想値からどの方向にずれているかが不明であり、共振器長の調整が困難であった。【解決手段】 安定化した単一周波数レーザ21のシード光をエタロン31に入射させ、このときに透過光検出器32で観測される透過光強度が最大となるように透過波長可変手段35を用いて透過光波長を設定する。共振器長可変手段40を備えるレーザ発振器にインジェクションシードを行い、発振したレーザ光をエタロン板31に入射させ、このときの透過光強度を透過光検出器33で検出する。制御手段51は透過光検出器33で検出される透過光強度が最大となるように共振器長可変手段40を制御し共振器長を変化させる。このようにして共振器の縦モードのひとつをシード光の周波数と一致させ単一周波数でレーザ発振を行わせることができる。
Claim (excerpt)：
共振器長を変化させる共振器長可変手段を備えるレーザ発振器と、前記レーザ発振器にモニター光を入射するモニター光入射手段と、前記モニター光および前記レーザ発振器から射出されるレーザ光を入射させ、少なくとも前記モニター光と同じ周波数の光を選択する選択周波数を有し、前記選択周波数の帯域幅は、前記レーザ発振器の発振可能な周波数のうち所望の周波数の光のみを選択可能とする幅を有する周波数選択手段と、前記周波数選択手段で選択されたモニター光およびレーザ光の強度をそれぞれ検出する強度検出手段と、前記強度検出手段からの信号に基づいて前記共振器長可変手段を制御する制御手段とを備えて構成することを特徴とするレーザ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
5F072AB20
, 5F072HH05
, 5F072KK08
, 5F072RR01
, 5F072SS06
, 5F072YY09
