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J-GLOBAL ID：200903015900192641

プローブ針の針先位置の検出方法及び検出装置

Inventor： 勝見 栄雄 ,  米田 康司 ,  平野 貴之 ,  木下 隆 ,  後藤 裕史
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所 ,  ジェネシス・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 明田 莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000170536
Publication number (International publication number)：2001349929
Application date： Jun. 07, 2000
Publication date： Dec. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 角錐形状の針先の如く、針先表面が鏡面状であるために従来は撮影が不可能であった針先を有するプローブ針について、その針先を撮影し得、ひいては、その針先の位置を検出し得るようにする。【解決手段】 プローブ針の針先9を照明手段41により照明し、撮影手段31により撮影し、得られた画像より前記針先9の位置を検出するプローブ針の針先位置の検出方法であって、前記針先9が少なくとも一つの平面部を有し、前記照明手段41からの光が前記針先9の平面部で正反射する方向に前記撮影手段31を配して前記針先9を撮影することを特徴とするプローブ針の針先位置の検出方法、及び、照明手段41からの光が前記針先9の平面部で正反射する方向に撮影手段31を配したことを特徴とするプローブ針の針先位置の検出装置。

Claim (excerpt)：

プローブ針の針先を照明手段により照明し、撮影手段により撮影し、得られた画像より前記針先の位置を検出するプローブ針の針先位置の検出方法であって、前記針先が少なくとも一つの平面部を有し、前記照明手段からの光が前記針先の平面部で正反射する方向に前記撮影手段を配して前記針先を撮影することを特徴とするプローブ針の針先位置の検出方法。

IPC (4)：

G01R 31/28 ,  G01B 11/00 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01B 11/00 H ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

F-Term (42)：

2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC00 ,  2F065CC19 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ28 ,  2G011AA09 ,  2G011AA16 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AE04 ,  2G032AE11 ,  2G032AF01 ,  2G032AL04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD05 ,  4M106DD30