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J-GLOBAL ID：200903015918390220

画像測定装置のフォーカス検出方法、フォーカス検出機構、およびこのフォーカス検出機構を備えた画像測定装置

Inventor： 吉田 博行
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (3)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003184053
Publication number (International publication number)：2005017805
Application date： Jun. 27, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：

【課題】高速かつ高精度にフォーカス検出を実行できる画像測定装置のフォーカス検出方法、フォーカス検出機構、およびこのフォーカス検出機構を備えた画像測定装置を提供すること。【解決手段】被測定物Wに格子パターンを投影する格子フィルタ26を回転駆動する回転駆動手段40と、撮像手段30および被測定物Wの間隔距離を調節する距離駆動手段50とを連動させて、所定回転角度ごとの格子パターンを投影した被測定物Wを多重露光により撮像手段30で撮像し、撮像した画像情報中の格子パターンのコントラスト値からフォーカス位置を算出する。従って、複数の距離位置で複数の画像を撮像する必要や複数の画像を画像処理する必要がないため、撮像や画像処理に掛かる時間を短縮でき、フォーカス検出を高速化できる。また、周波数領域情報に基づいてコントラスト値を算出するので、フォーカス検出を高精度化できる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

被測定物と交差する光軸上に設けられ当該被測定物を撮像する撮像手段を有し、撮像した画像から前記被測定物を測定する画像測定装置のフォーカス検出方法であって、 前記画像測定装置は、前記被測定物に向かって照明光を照射する発光光源を有した照明装置と、この発光光源と前記被測定物との間に設けられ、前記発光光源からの照明光を遮って当該被測定物に格子パターンを投影する格子フィルタと、この格子フィルタを回転駆動して前記被測定物に投影される格子パターンの格子角度を変更する回転駆動手段と、前記撮像手段および前記被測定物の少なくとも一方を駆動し、前記光軸に沿った互いの間隔距離を調節する距離駆動手段とを有し、 前記距離駆動手段および回転駆動手段を連動させて駆動して、所定回転角度ごとに前記格子フィルタの格子パターンを前記被測定物に投影するとともに、前記撮像手段にて、前記所定回転角度に応じた所定間隔距離ごとの前記被測定物を多重露光により撮像し、画像情報を取得する画像入力工程と、 取得した画像情報を周波数領域へ変換した周波数領域情報に基づいて、前記所定回転角度ごとのコントラスト値を算出するコントラスト値算出工程と、 前記コントラスト値が最大となる回転角度に応じた前記撮像手段および前記被測定物の間隔距離から、フォーカス位置を算出するフォーカス位置算出工程と を備えたことを特徴とする画像測定装置のフォーカス検出方法。

IPC (5)：

G02B7/28 ,  G01B11/00 ,  G01C3/06 ,  G03B15/00 ,  H04N5/232

FI (6)：

G02B7/11 N ,  G01B11/00 H ,  G01C3/06 P ,  G03B15/00 T ,  H04N5/232 H ,  G02B7/11 H

F-Term (60)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA21 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG17 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065MM07 ,  2F065MM16 ,  2F065MM28 ,  2F065PP02 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F112AB10 ,  2F112BA05 ,  2F112BA06 ,  2F112CA11 ,  2F112DA13 ,  2F112DA32 ,  2F112EA11 ,  2F112FA03 ,  2F112FA07 ,  2F112FA21 ,  2F112FA45 ,  2H051AA00 ,  2H051BA72 ,  2H051CB13 ,  2H051CC05 ,  2H051CE06 ,  2H051CE09 ,  2H051CE12 ,  2H051CE16 ,  5C022AB15 ,  5C022AB29 ,  5C022AC76