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J-GLOBAL ID：200903015922526179

エネルギ可変型4ヴェイン型高周波4極空洞およびエネルギ可変型分割同軸型高周波4極空洞

Inventor： 中西 哲也
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992138407
Publication number (International publication number)：1993159899
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、同じ荷電粒子に対してエネルギを大幅に変えることができ、イオン注入器等に適用できるエネルギ可変型4ヴェイン型高周波4極空洞を得ることを目的とする。【構成】 矩形断面の空洞10の内壁には、4枚のヴェイン11が互いに直交するように取り付けられている。この空洞10には4枚のヴェイン11により仕切られた4つのチェンバ3が形成されている。このチェンバ3のそれぞれには、ヴェイン11の長さとほぼ等しい長さの導電体からなる短絡板12が配設されている。この短絡板12は、空洞10に出し入れ可能に取り付けられた複数の支持棒14で支持されている。これらの支持棒14は、駆動装置15に接続され、駆動装置15により移動量が等しくなるように制御されている。

Claim (excerpt)：

共振空洞の断面で互いに直交するように前記共振空洞内に4枚のヴェインを配設してなるエネルギ可変型4ブェイン型高周波4極空洞であって、前記ヴェインで仕切られた4つのチェンバ内のそれぞれに、前記チェンバの電気的断面積を前記チェンバの長さ方向で均一に変化させる断面積可変手段を備えたことを特徴とするエネルギ可変型4ブェイン型高周波4極空洞。