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J-GLOBAL ID：200903015933304658

ディスク状基板の両面研削方法、情報記録媒体用基板の製造方法、及び情報記録媒体の製造方法

Inventor：
小澤 伸次

About 小澤 伸次


Applicant, Patent owner：
ホーヤ株式会社

About ホーヤ株式会社


Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000001522
Publication number (International publication number)：2001191247
Application date： Jan. 07, 2000
Publication date： Jul. 17, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高い平坦度と、高い平滑性を有するガラス基板を高歩留まりで容易に製造できる記録媒体用ガラス基板の製造方法及び記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】 ポリッシング工程の前に行なうラッピング工程を、固定砥粒を担持した研削用ペレット1を貼付した上定盤3及び下定盤4の間にキャリア5で保持したディスク状基板2を配置し、上定盤3と下定盤4とを互いに反対方向に回転せしめ、且つキャリア5を自転及び公転させて、ディスク状基板2の両面をペレット1により研削加工する工程で行うようにし、かつ、ラッピング工程の前処理工程において、ラッピング工程を行う際のディスク状基板の平坦度を30μm未満にしてから前記ラッピング工程を行うようにした。
Claim (excerpt)：
ディスク状ガラス基板の表面精度を所定以上の精度に最終的に仕上げるポリッシング工程と、このポリッシング工程の前に前記ディスク状ガラス基板の厚さ及び表面の平坦性を整えるために行なうラッピング工程と、このラッピング工程の前処理工程とを少なくとも有する記録媒体用ガラス基板の製造方法において、前記ラッピング工程は、固定砥粒を担持した研削用ペレットを貼付した上定盤及び下定盤の間にキャリアで保持したディスク状基板を配置し、前記上定盤と前記下定盤とを互いに反対方向に回転せしめ、且つ前記キャリアを自転及び公転させて、前記ディスク状基板の両面を前記ペレットにより研削加工する工程であり、前記ラッピング工程の前処理工程において、前記ラッピング工程を行う際のディスク状基板の平坦度を30μm未満にしてから前記ラッピング工程を行うようにすることを特徴とする記録媒体用ガラス基板の製造方法。
IPC (2)：
B24B 37/04 ,  G11B 5/84
FI (3)：
B24B 37/04 A ,  B24B 37/04 F ,  G11B 5/84 A
F-Term (13)：
3C058AA07 ,  3C058AA16 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058BC01 ,  3C058DA02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA18 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112GA09 ,  5D112GA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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