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J-GLOBAL ID：200903015935313883

現像処理方法および装置

Inventor： 小尾 祐一 ,  浜 誠司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993152526
Publication number (International publication number)：1995135137
Application date： Jun. 24, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ウェハのスピン乾燥時において、該ウェハの中心部の乾燥を促進させて、不良品の低減と乾燥時間を短縮させる現像処理方法と装置を提供する。【構成】 ウェハ1にドライエアーなどの乾燥した気体を吹き付けるエアー吐出ノズル(乾燥気体吐出ノズル)2と、現像液を吹き付ける現像液ノズル3と、洗浄液を吹き付けるリンス液ノズル4と、供給する乾燥気体の流量を調整する流量調整バルブ5と、飛散する前記現像液やリンス液を排出する現像カップ6と、ウェハ1を搭載するウェハ支持台7と、前記ウェハ支持台7を回転させる支持台回転駆動部8と、前記3種類のノズル2,3,4とウェハ1の中心との位置合わせを行うノズル駆動部9とから構成され、該ノズル駆動部9の制御によって、エアー吐出ノズル2から吐出する乾燥した気体が、ウェハ1の中心部に吐出されるものである。

Claim (excerpt)：

ウェハを回転させることにより、レジストの現像、洗浄、乾燥を行う現像処理方法であって、現像および洗浄後のスピン乾燥時に、前記ウェハの中心部に乾燥した気体を吹き付けることを特徴とする現像処理方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351