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J-GLOBAL ID:200903015943834884
可視光半導体レーザ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
丸山 敏之 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992126951
Publication number (International publication number):1993327110
Application date: May. 20, 1992
Publication date: Dec. 10, 1993
Summary:
【要約】【目的】 リッジ埋め込み型半導体レーザにおいて、コンタクト層とクラッド層間のエッチングレートの相違に起因する結晶の損傷や素子の劣化を阻止する。【構成】 n-GaAs基板1上に、n-(Al<SB>X</SB>Ga<SB>1-X</SB>)InPクラッド層3、n-(Al<SB>Z</SB>Ga<SB>1-Z</SB>)InP活性層4、及びストライプ状のリッジ部10を有するp-(Al<SB>X</SB>Ga<SB>1-X</SB>)InPクラッド層5が形成されると共に、前記クラッド層5のリッジ部10上にはp-GaInPコンタクト層7、リッジ部10両側にはn-GaAs電流阻止層8・8を形成している。更に、p-(Al<SB>X</SB>Ga<SB>1-X</SB>)InPクラッド層5とp-GaInPコンタクト層7の間には、p-(Al<SB>X</SB>Ga<SB>1-X</SB>)InPクラッド層5よりもアルミニウム組成比Y(0<Y<X)の小さいp-(Al<SB>Y</SB>Ga<SB>1-Y</SB>)InP中間層6が形成されている。
Claim (excerpt):
第1導電型半導体基板(1)上に、第1導電型クラッド層(3)、活性層(4)、及びストライプ状のリッジ部(10)を有する第2導電型クラッド層(5)が形成されると共に、前記第2導電型クラッド層(5)のリッジ部(10)上には第2導電型コンタクト層(7)、リッジ部(10)両側には第1導電型電流阻止層(8)(8)を形成した可視光半導体レーザにおいて、前記第2導電型クラッド層(5)はアルミニウムを含む化合物から形成され、第2導電型クラッド層(5)とコンタクト層(7)の間には、第2導電型クラッド層(5)と同一の化合物からなり、且つ第2導電型クラッド層(5)よりもアルミニウム組成比の小さい第2導電型中間層(6)が形成されていることを特徴とする可視光半導体レーザ。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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半導体発光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-346603
Applicant:富士通株式会社
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特開平2-033987
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特開平4-085981
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