Pat

J-GLOBAL ID：200903015952865318

マイクロ偏光計、マイクロセンサ・システム、および薄膜の特性を測定する方法

Inventor： ピーター・ポクロスキー ,  エッケハルト・キーファー ,  ミハエル・アブラハム ,  ベルント・ステンカンプ ,  ウォルフガング・エールフェルト ,  トーマス・ツェーテーラー
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994328538
Publication number (International publication number)：1996201176
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 検光子(1)と、N個のセクタの円形構成を有する通常は光電検出器アレイである検出器(3)からなるマイクロ偏光計を提供する。【構成】 検光子(1)と検出器(3)はユニットを形成し、検光子はセクタに異なる偏光値を割り当て、可動部品を含んでいない。検光子について、3種類の実施例、すなわち、偏光薄膜スタックで覆われたガラス・コーン、金属グリッド偏光アレイ、および偏光導波管のアレイを提案する。マイクロ偏光計(14)はマイクロ偏光解析計システムで使用するのが好ましく、該マイクロ偏光解析計システムは、光平行化手段(7)と、偏光手段(8)をさらに含んでおり、これらもマイクロ光学テーブル(6)上に配置されている。光発生手段(11)をマイクロセンサ・システムに組み込むこともできる。マイクロセンサ・システムはフィルム診断、特に薄膜の光学特性のためのツールとして役立つ。

Claim (excerpt)：

ユニットを形成する検光子と検出器とからなるマイクロ偏光計において、前記検出器が円形構成のN個のセクタを有しており、前記検光子が該セクタに異なる偏光値を割り当てることを特徴とするマイクロ偏光計。

IPC (2)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-298203
  
• 特開平1-241502
  
• 特開昭64-088220
  
• 特開平2-228608
  
• 金属偏光子及び半導体レーザ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-288831   Applicant：富士通株式会社