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J-GLOBAL ID：200903015956060683

倍率補正装置及びこれを適用した露光装置

Inventor： 清野 武寿 ,  大江 敦司
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994260545
Publication number (International publication number)：1996124831
Application date： Oct. 25, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、マスクや基板の変形による倍率誤差が非線形であっても、これを精密に計測して補正する。【構成】マスク10と基板11との間の位置ずれを少なくとも3点の相互間において計測し、例えばマスク10を通過した光を投影光学系12により基板11上に投影するときに、これら計測された3点間の相互の各位置ずれに基づいて、マスク10と基板11との間に配置された各硝子平板18、19を部分的に変形する。これにより、マスク10と基板11との間により生じる非対称な倍率誤差が補正される。

Claim (excerpt)：

マスクを通過した光を投影光学系により基板上に投影するときの前記マスクと前記基板との間により生じる倍率誤差を補正する倍率補正装置において、前記マスクと前記基板との間の位置ずれを少なくとも3点の相互間において計測する位置ずれ検出手段と、前記マスクと前記基板との間に配置された光透過性の弾性体と、前記位置ずれ検出手段により計測された位置ずれ検出結果に基づいて前記弾性体を変形させて前記位置ずれを修正する変形手段と、を具備したことを特徴とする倍率補正装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00