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J-GLOBAL ID：200903015983453859

試料ホルダ、試料保持部材装着ホルダおよび試料保持部材

Inventor： 杉崎 秀雄
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 田中 隆秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997358082
Publication number (International publication number)：1999185686
Application date： Dec. 25, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 直交する2軸回りに試料を傾斜させて観察、分析等を行うこと。【解決手段】 筒状のホルダ装着部材により鏡筒にスライド可能に支持されたホルダ外筒と、前記ホルダ装着部材と反対側からX軸に沿って接近する試料保持部材本体66が着脱可能に装着されて前記ホルダ外筒の内端部に設けられた試料保持部材支持枠54と、前記試料保持部材支持枠54によりY軸方向に沿う傾斜軸61回りに傾斜可能に支持された傾斜部材59と、前記試料保持部材本体66にY軸に平行な可動部回動軸68,68回りに回動可能に支持され試料保持部材可動部67を有し、前記可動部回動軸68,68の軸線が前記ホルダ外筒の軸線と交差するように配置されるとともに前記両軸線の交差する位置に試料Sが保持される試料保持部材H2と、内端が動部材被当接部59aに当接する傾斜位置調節部材とから構成される試料ホルダ。

Claim (excerpt)：

次の要件を備えた試料ホルダ、(A01)互いに垂直な上下に延びるZ軸、前後に延びるX軸、および左右に延びるY軸のうちのZ軸に沿った荷電粒子線の通路の外側を囲むように配置された鏡筒をX軸方向に貫通する筒状のホルダ装着部材により、X軸回りに回転可能且つX軸に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒、(A02)前記鏡筒の前記ホルダ装着部材と反対側からX軸に沿って接近する試料保持部材本体が着脱可能に装着される左右一対の保持部材ガイド溝を有し、前記ホルダ外筒の内端部に設けられた試料保持部材支持枠、(A03)前記試料保持部材支持枠により前記Y軸方向に沿う傾斜軸回りに傾斜可能に支持されて、前記傾斜軸より内端側に設けられ且つ試料保持部材可動部と係合する可動部係合部材と移動部材被当接部とを有する傾斜部材、(A04)前記傾斜部材を所定の傾斜位置に保持するように作用する傾斜位置保持用弾性部材、(A05)前記試料保持部材本体と、この試料保持部材本体にY軸に平行な可動部回動軸回りに回動可能に支持され且つ相対的にX軸方向に移動する際に前記可動部係合部材と着脱可能に係合する被係合部を有する試料保持部材可動部と、前記試料保持部材可動部の前記可動部回動軸回りの位置を所定位置に保持する可動部位置保持用弾性部材とを有し、前記可動部回動軸の軸線が前記ホルダ外筒の軸線と交差するように配置されるとともに前記両軸線の交差する位置に試料が保持される試料保持部材、(A06)前記ホルダ外筒により前記X軸方向の位置が調節可能に支持され且つ内端が前記傾斜部材の移動部材被当接部に当接する傾斜位置調節部材。