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J-GLOBAL ID：200903016002243520
マイクロ波プラズマ装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 常明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992026067
Publication number (International publication number)：1993198391
Application date： Jan. 17, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】従来のマイクロ波プラズマ装置では、アプリケータの反応管内に発生するプラズマは、マイクロ波の投入側にその強い部分を生じ易い傾向があり、可変短絡器等により調整をしようとしても、その均一化は困難であった。本発明は、上記問題点を解消し、より均一なプラズマを発生させ、より均一性の高い薄膜、表面改質等が得られるマイクロ波プラズマ装置を提供しようとするものである。【構成】アプリケータの構造を、反応管に対し等分割された複数の方向からマイクロ波を投入できるよう、複数個のマイクロ波投入口を有するものにした。
Claim (excerpt)：
金属筐体内に反応管を挿入してなるアプリケータを備えたマイクロ波プラズマ装置において、前記アプリケータは、前記反応管に対し等分割された複数の方向からマイクロ波を投入できるよう、複数個のマイクロ波投入口を有することを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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