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J-GLOBAL ID：200903016021212740

光走査型二次元濃度分布測定装置

Inventor： 冨田 勝彦 ,  高松 修司
Applicant, Patent owner： 財団法人地球環境産業技術研究機構 ,  株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996173043
Publication number (International publication number)：1997329582
Application date： Jun. 11, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 構成が簡単で、安価であり、制御性がよく、イオン濃度測定を簡便に行うことができる光走査型二次元濃度分布測定装置を提供すること。【解決手段】 半導体基板5の一方の面にセンサ面7を形成するとともに、モータ19の回転に基づいて二次元を走査する二次元スキャナ38を設け、この二次元スキャナの機能素子設置部29に光源部32を設けて、光源部32を二次元方向に移動させるように構成し、この光源部32によって、前記半導体基板5に対してプローブ光33を照射するように構成した。

Claim (excerpt)：

半導体基板の一方の面にセンサ面を形成し、前記半導体基板に対してプローブ光を照射するようにした光走査型二次元濃度分布測定装置において、モータによって回転される原動歯車と、この原動歯車に噛合する従動歯車と、この従動歯車の回転中心と同じ位置に回転中心を有する太陽歯車と、前記従動歯車上であってその回転中心から適宜離れた位置に回転中心を有し、かつ前記太陽歯車に常に内接または外接しながら回転する遊星歯車と、この遊星歯車上であってその回転中心から適宜離れた位置に設けられる機能素子設置部とからなり、前記モータの回転により前記機能素子設置部が二次元平面を一筆書き的に移動するように構成された二次元スキャナの前記機能素子設置部に光源を設けて二次元光照射部とし、この二次元光照射部を前記半導体基板の一方の側に配置し、この二次元光照射部によって、半導体基板に対してプローブ光を照射するように構成したことを特徴とする光走査型二次元濃度分布測定装置。

IPC (2)：

G01N 27/416 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N 27/46 U ,  H01L 21/66 N ,  G01N 27/46 353 Z