加工装置のチャック装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994053026
Publication number (International publication number)：1995237066
Application date： Feb. 25, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】加工対象ワークとチャックプレートとの間隔を均一にしながら、冷凍チャックを用いて加工対象ワークを固定することができるようにする。【構成】チャックプレート12の上面に設けられた液体出口18から放出される液体14の圧力と加工対象ワーク11の重量とのバランスにより、チャックプレート12の上面と加工対象ワーク11との間隔が略一定になるように、液体14を介して加工対象ワーク11がチャックプレート12上に保持される。この状態で、冷凍チャック15によってチャックプレート12を冷却すると、液体14が固化し、氷の層を介して加工対象ワーク11がチャックプレート12上に固定される。

Claim (excerpt)：

加工装置における加工対象ワークを氷を介して固定するためのチャックプレートと、このチャックプレート上に、氷を形成するための液体を供給する液体供給手段と、この液体供給手段によって前記チャックプレート上に供給された液体を冷凍して氷を形成する冷凍手段と、この冷凍手段によって形成される氷によって前記チャックプレートの上面に固定される加工対象ワークと前記チャックプレートの上面との間隔を均一化する間隔均一化手段とを具備することを特徴とする加工装置のチャック装置。

IPC (5)：

B23Q 3/08 , B28D 7/04 , H01L 21/304 321 , H01L 21/68 , H01L 21/301

FI (2)：

H01L 21/78 M , H01L 21/78 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-246447
特開平2-124243
特開昭64-016886

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