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J-GLOBAL ID：200903016061458920

回転数検出装置

Inventor： 谷上 昌伸
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190611
Publication number (International publication number)：1993010767
Application date： Jul. 03, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光路媒質が回転している場合、コイル状の光路内を逆向きに進む光に光路差が発生することを利用した光学式の回転数検出装置において、その超薄型化、小形化、高精度化を図る。【構成】 基板1の表面に2P法により平面コイル状をした光導波路2を形成した。レーザ発振器6で発生させられたレーザ光は、ビームスプリッタ7で2つに分けられた後、光導波路2の両端へ導かれ、光導波路2内を互いに逆方向に進む。光導波路2の回転によって両方向に進む光に生じた位相差は、光検出器11によって検出される。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された平面コイル状の光導波路と、当該光導波路の両端部から光導波路内を互いに反対向きに進むように光線を入射させる手段と、当該光導波路の両端部から出射した前記光線の位相差を検出する手段とからなる回転数検出装置。