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J-GLOBAL ID：200903016064056106

研磨剤の再生方法

Inventor： 勝見 昌高
Applicant, Patent owner： 大同特殊鋼株式会社
Agent (1)： 守田 賢一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998281661
Publication number (International publication number)：2000109793
Application date： Oct. 02, 1998
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 研磨剤中の凝集した砥粒を確実に再分散させて、ガラス基板等の被研磨体における傷発生を未然に防止するとともに、研磨剤の使用効率を向上させてコスト低減を図る。【解決手段】 タンク6には研磨機で使用された研磨剤が排出管5より流入する。タンク6の周壁64および底壁65には適当数の超音波振動子8が設けてあり、これら超音波振動子8から超音波がタンク6内へ発射されている。研磨工程で分子間力等によって互いに凝集して比較的大きな粒体となった研磨剤中の砥粒は、タンク6内で超音波の振動エネルギーを受けて再び個々の小径の砥粒に分散する。

Claim (excerpt)：

研磨剤に超音波を当てて、研磨剤中の凝集した砥粒を再分散させることを特徴とする研磨剤の再生方法。

IPC (2)：

C09K 3/14 550 ,  B24B 57/02

FI (2)：

C09K 3/14 550 D ,  B24B 57/02

F-Term (3)：

3C047FF08 ,  3C047GG13 ,  3C047GG18