Pat

J-GLOBAL ID：200903016080343638

ロボット

Inventor： 渡辺 和英 ,  金光 陽一 ,  篠崎 弘行 ,  平城 直治 ,  森山 伸一
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993056562
Publication number (International publication number)：1994023687
Application date： Feb. 22, 1993
Publication date： Feb. 01, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体の製造工程等の、特に発塵や潤滑が問題となる特殊環境下で使用することのできる、機械的接触部分を有さないロボットを提供する。【構成】 先端ハンドを有するアーム(2)を水平方向に非接触で支持し移動させる、磁気軸受とリニアモータからなる水平駆動部(3)と、該水平駆動部(3)を搭載した浮上体(5)を非接触で支持し回転させる、磁気軸受と回転形モータからなる回転駆動部(6)とを具備することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

先端にハンドを有するアームを水平方向に非接触で支持し移動させる、磁気軸受とリニアモータからなる水平駆動部と、該水平駆動部を搭載した浮上体を非接触で支持し回転させる、磁気軸受と回転形モータからなる回転駆動部とを具備することを特徴とするロボット。

IPC (3)：

B25J 19/00 ,  F16C 32/04 ,  H02K 37/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平4-046781
  
• 特開昭58-114883
  
• 特開昭63-092205
  
• リニアモータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-241034   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開昭62-296761