マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：四宮通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002283473
Publication number (International publication number)：2004114261
Application date： Sep. 27, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】高い電圧をかけたり小型化を損なったりすることなく、可動部の可動範囲を広げることができ、かつ、消費電力を低減することができ、しかも、制御回路等を簡単化する。【解決手段】可動板21は、フレクチュア部27a,27bを介して基板11に固定され、基板11に対して上下動し得る。基板11は固定電極を兼用する。可動板21は、基板11との間の電圧により基板11との間に静電力を生じ得る第2の電極部23a,23bと、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路25と、を有する。光路に進出及び退出するミラー12が、可動板21に設けられている。制御部は、可動板21の位置とは無関係に基板11と電極部電極部23a,23bとの間に常時所定電圧を印加しつつ、電流経路25に流れる電流を制御する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

マイクロアクチュエータと、磁界発生部と、制御部とを備えたマイクロアクチュエータ装置であって、前記マイクロアクチュエータは、固定部と、該固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、を有し、前記固定部は第1の電極部を有し、前記可動部は、前記第1の電極部との間の電圧により前記第1の電極部との間に静電力を生じ得る第2の電極部と、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路と、を有し、前記磁界発生部は前記磁界を発生させ、前記制御部は、前記可動部の位置とは無関係に前記第1及び第2の電極部間に常時所定電圧を印加しつつ、前記電流経路に流れる電流を制御する、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ装置。

IPC (3)：

B81B3/00 , G02B26/08 , H02N1/00

FI (3)：

B81B3/00 , G02B26/08 E , H02N1/00

F-Term (7)：

2H041AA14 , 2H041AA15 , 2H041AB13 , 2H041AC04 , 2H041AZ01 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチ及び光スイッチアレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-368060 Applicant：株式会社ニコン

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