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J-GLOBAL ID：200903016091825812

ポジ型感放射線性組成物

Inventor： 田村 一貴 ,  大林 元太郎
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999323894
Publication number (International publication number)：2000227660
Application date： Nov. 15, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはハロゲン元素またはシアノ基、Zは酸素原子または窒素原子、RはZに結合している炭素が1級または2級で炭素数1から10のアルキレン基、Aは酸の作用で分解し、アルカリ可溶性となる基を少なくとも1つ有するアリール基を表す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはハロゲン元素またはシアノ基、Zは酸素原子またはイミノ基、RはZに結合している炭素が1級または2級で炭素数1から10のアルキレン基、Aは酸の作用で分解し、アルカリ可溶性となる基を少なくとも1つ有するアリール基を表す。)

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R